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Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé : propriétés des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://cdn.unilim.fr/files/theses-doctorat/2003LIMO0032.pdf
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Orlianges Jean-Christophe
Date de soutenance
28-11-2003

Directeur(s) de thèse
Catherinot Alain
Président du jury
DESMAISON Jean
Rapporteurs
GODET C. - MILLON Eric
Membres du jury
CATHERINOT Alain - BLONDY Pierre - CHAMPEAUX Corinne - COUDERT Jean-François

Laboratoire
SPCTS - Science des Procédés céramiques et de Traitements de surface – UMR CNRS 7315
Ecole doctorale
École doctorale Sciences - Technologie - Santé - STS (Limoges ; ...-2009)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Matériaux Céramiques et Traitements de Surface
Classification
Technologie (Sciences appliquées),
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
couches minces, dépôt par laser pulsé, alumine, systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Mots-clés
Systèmes microélectromécaniques - Thèses et écrits académiques,
Dépôt par laser pulsé - Thèses et écrits académiques,
AlumineAlumine -- Thèses et écrits académiques,
Panaches (dynamique des fluides) - Thèses et écrits académiques
Résumé :

Ce travail consiste en l'optimisation des conditions de dépôt par ablation laser à température ambiante du carbone et de l'alumine. Il se divise en huit parties principales. Le premier chapitre est une présentation du contexte de l'émergence des couches de carbone et d'alumine par ablation laser. Le deuxième chapitre décrit les dispositifs expérimentaux et modes opératoires mis en œuvre, qu'ils concernent l'élaboration des films aussi bien que la détermination de leurs propriétés. Les deux chapitres suivants s'intéressent à résoudre les principaux défauts de l'ablation laser à savoir : La projection de particules solides lors du dépôt (chapitre 3) L'inhomogénéité en épaisseur des couches réalisées sur sustrat fixe (chapitre 4). Le cinquième chapitre est consacré à l'étude des propriétés structurelles, électriques et mécaniques des couches de ta-C en fonction des conditiond de dépôt. Ce travail s'appuie sur une étude de l'énergie des ions dans le panache plasma (spectroscopie, imagerie résolue temporellement et spectralement) et leur rôle dans la croissance des films de ta-C (analyses Raman, XPS, MET…). Le sixième chapitre reprend une étude similaire à ce qui a été présenté dans le chapitre précédent en l'applicant aux couches minces d'alumine par ablation laser. Enfin le dernier chapitre est consacré à l'intégration, dans les composants MEMS RF, des films d'alumine et de ta-C déposés par ablation laser. Ce chapitre rapporte les résultats de la collaboration menée avec l'IRCOM pour réaliser des composants fonctionnels (microcommutateurs RF, filtres accordables …) à base de couches minces déposées par ablation laser.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
Ressource locale
Identifiant
unilim-ori-12627
Numéro national
2003LIMO0032

Pour citer cette thèse

Orlianges Jean-Christophe, Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé : propriétés des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2003. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/unilim-ori-12627