Par auteur
Vous êtes ici
Thèses de doctorat
Par auteur
C
Cibert Christophe
Recherche en cours
Par auteur
=
Cibert Christophe
1
ressource a été trouvée.
Trier par :
Titre
année de soutenance
auteur
Affichage de
10
20
30
40
50
résultats par page
1
1
×
Attention : l'accès aux ressources peut être restreint, soit pour des raisons juridiques, soit par la volonté de l'auteur.
Films minces d'oxyde et de nitrure d'aluminium pour applications hyperfréquences : synthèse par PLD et PECVD et caractérisations
Films minces d'oxyde et de nitrure d'aluminium pour applications hyperfréquences : synthèse par PLD et PECVD et caractérisations
année de soutenance
:
2007
auteur
:
Cibert Christophe
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Ce travail consiste en l'étude de couches minces d'alumine et d'AlN pour leur intégration dans des dispositifs MEMS et FBAR. Les couches d'alumine, déposées à température ambiante et à 800°C, présentent des propriétés intéressantes pour les procédés PLD et PECVD, ouvrant un grand nombre d'applicati ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/dbf18e1a-69ec-4a00-8cf4-b410ff2772a5/blobholder:0/2007LIMO4015.pdf
1