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Thèses de doctorat
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Sanchez Mathon Gustavo
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Piezoelectric aluminum nitride thin films by PECVD
Piezoelectric aluminum nitride thin films by PECVD
année de soutenance
:
2009
auteur
:
Sanchez Mathon Gustavo
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Des couches minces polycristallines de nitrure d'aluminium ont été produites en utilisant une technique de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. La distance plasma - injecteur, la température du substrat et la polarisation RF du porte - substrat ont été les principales variab ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/9224e391-3c48-4c10-9166-c2a2bed3c5f4/blobholder:0/2009LIMO4007.pdf
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