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Desmaison Jean
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Films minces d'oxyde et de nitrure d'aluminium pour applications hyperfréquences : synthèse par PLD et PECVD et caractérisations
Films minces d'oxyde et de nitrure d'aluminium pour applications hyperfréquences : synthèse par PLD et PECVD et caractérisations
année de soutenance
:
2007
auteur
:
Cibert Christophe
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Ce travail consiste en l'étude de couches minces d'alumine et d'AlN pour leur intégration dans des dispositifs MEMS et FBAR. Les couches d'alumine, déposées à température ambiante et à 800°C, présentent des propriétés intéressantes pour les procédés PLD et PECVD, ouvrant un grand nombre d'applicati ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/dbf18e1a-69ec-4a00-8cf4-b410ff2772a5/blobholder:0/2007LIMO4015.pdf
Torche plasma micro-onde à la pression atmosphérique : application au traitement de surfaces métalliques
Torche plasma micro-onde à la pression atmosphérique : application au traitement de surfaces métalliques
année de soutenance
:
2005
auteur
:
Tendero Claire
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Ce manuscrit est consacré à l'étude d'une torche plasma micro-onde fonctionnant à la pression atmosphérique pour la préparation de surfaces métalliques, plus particulièrement le dégraissage et l'oxydation de surface d'alliage aluminium Al2024 avant revêtement peinture d'une part et le décapage de TA ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/3c9e4646-8574-4285-bb20-e6e41db94246/blobholder:0/2005LIMO0065.pdf
Couches multifonctionnelles par procédé multitechnique
Couches multifonctionnelles par procédé multitechnique
année de soutenance
:
2003
auteur
:
Haure Thibaut
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Le présent mémoire, intitulé "Couches multifonctionnelles par procédé de dépôt multitechnique", est consacré à l'étude de revêtements d'alumine, dits duplex, comportant deux couches réalisées par deux procédés de dépôt par voie sèche : la projection plasma sous pression atmosphérique (APS) et la PEC ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/1ecdedd7-bdd6-4267-ab19-337689f5709e/blobholder:0/2003LIMO0064.pdf
Dépôt chimique en phase vapeur de couches minces d'alumine dans une post-décharge micro-onde
Dépôt chimique en phase vapeur de couches minces d'alumine dans une post-décharge micro-onde
année de soutenance
:
2003
auteur
:
Hidalgo Hervé
laboratoire
:
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème
:
Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description
:
Des couches minces d'alumine sont réalisées sur des substrats de silicium par dépôt chimique en phase vapeur à partir de TriMethylAluminium (TMA), introduit dans la post-décharge d'un plasma micro-onde d'oxygène. Les films colonnaires et sur-stœchiométriques en oxygène présentent un taux d'hydrogène ...
https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/5bf66218-3817-4018-89e7-b6e3ca4d72a0/blobholder:0/2003LIMO0056.pdf
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