Ouvrir cette fenêtre en pleine page
  • Imprimer
  • Partager
    • Courriel
    • Twitter
    • Facebook
    • del.icio.us
    • Viadeo
    • LinkedIn

Conception et réalisation de micro-résonateurs piezoélectriques sur substrat de silicium sur isolant

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://www.theses.fr/2016LIMO0075/abes
    • https://theses.hal.science/tel-01405497
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Mortada Oussama
Date de soutenance
25-10-2016

Directeur(s) de thèse
Chatras Matthieu - Blondy Pierre - Crunteanu-Stànescu Aurélian
Rapporteurs
Kerhervé Eric - Dulmet Bernard
Membres du jury
Chatras Matthieu - Blondy Pierre - Crunteanu-Stànescu Aurelian - Reinhardt Alexandre - Lapierre Luc - Cros Dominique

Laboratoire
XLIM - UMR CNRS 7252
Ecole doctorale
École doctorale Sciences et ingénierie pour l'information, mathématiques (Limoges ; 2009-2018)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Electronique des Hautes Fréquences, Photonique et Systèmes
Classification
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
Piezoelectrique, Oxyde de Zinc ZnO, Nitrure d'aluminium AlN, Ondes acoustiques
Mots-clés
Dispositifs piézoélectriques,
Résonateurs électriques,
Ondes sonores
Résumé :

Les ondes acoustiques, démontrées théoriquement en 1885 par le scientifique anglais Lord Rayleigh, constituent de nos jours un sujet de recherches très intéressant. Elles sont devenues indispensables à la fabrication des systèmes de télécommunication miniatures et performants, tels que par exemple les filtres, les oscillateurs ou encore les capteurs. Les dispositifs fonctionnant grâce aux ondes acoustiques sont connus sous le nom de « dispositifs piézoélectriques » puisqu’ils transforment les signaux RF en ondes acoustiques, et vice versa, grâce au phénomène piézoélectrique direct. Le développement de ces dispositifs piézoélectriques a été indispensable pour répondre aux exigences particulières et extrêmes des systèmes de télécommunication actuels (sélectivité, miniaturisation, faible coût, facilité de fabrication et d’intégration). Cette thèse s’inscrit dans une démarche générale de développement des dispositifs piézoélectriques, notamment des micro-résonateurs piézoélectriques qui en constituent la dernière génération. Deux axes principaux ont été développés au cours de ces travaux de recherches : l’étude théorique des micro-résonateurs piézoélectriques à travers une modélisation électrique d’une part, et, d’autre part, la description des procédés de fabrication réalisés en salle blanche du laboratoire d’XLIM.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises
Identifiant
2016LIMO0075
Numéro national
2016LIMO0075

Pour citer cette thèse

Mortada Oussama, Conception et réalisation de micro-résonateurs piezoélectriques sur substrat de silicium sur isolant, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2016. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/2016LIMO0075