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Elaboration par un procédé PVD de multicouches céramiques sur des substrats en nitrure de bore : Etude du procédé et de la réactivité aux interfaces en vue d’améliorer l’adhérence des dépôts

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Le texte intégral de cette thèse sera librement accessible à partir du28/09/2031

Informations sur les contributeurs

Auteur
Trujillo Arredondo Mariana
Date de soutenance
27-09-2021

Directeur(s) de thèse
Maître Alexandre - Rapaud Olivier
Président du jury
Brylinski Christian
Rapporteurs
Guillemet Sophie - Pierson Jean-François
Membres du jury
Maître Alexandre - Rapaud Olivier - Jaoul Cédric - Tristant Pascal - Maine Sylvain

Laboratoire
Institut de Recherche sur les CERamiques (Limoges ; 2012-....)
Ecole doctorale
Ecole doctorale Sciences et Ingénierie des Matériaux, Mécanique, Energétique (Poitiers)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Matériaux Céramiques et Traitements de Surface
Classification
Physique,
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
Pulvérisation cathodique magnétron, Oxyde d’aluminium, Carbure de bore, Propriétés électriques, Réactivité
Mots-clés
Dépôts céramiques,
Alumine,
Carbure de bore,
Pulvérisation cathodique,
Matériaux céramiques - Propriétés électriques
Résumé :

A l’intérieur d’un tube à onde progressive (TOP), le montant en nitrure de bore est soumis à une irradiation électronique, produisant le phénomène indésirable d’accumulation de charges en surface. Afin d’éviter ce phénomène, un dépôt céramique multicouche est réalisé avec un rendement d’émission électronique élevé. Dans cette étude, le dépôt se compose de couches minces céramiques (oxyde d’aluminium et carbure de bore) élaborées par pulvérisation cathodique magnétron sur des substrats en nitrure de bore. Les paramètres d’élaboration ont été étudiés afin de comprendre leur influence sur les propriétés physico-chimiques et électriques des dépôts. Il a été constaté que les propriétés électriques requises étaient uniquement atteintes après un traitement thermique. Néanmoins, le traitement impacte la qualité des dépôts, plus précisément l’interface entre les couches et le substrat. C’est pourquoi, la réactivité entre les différentes phases céramiques contribuant aux dépôts (Al2O3, B4C) et au substrat (BN) a été étudiée en fonction des conditions de température et de pression. Ces travaux de recherche ont mis en évidence l’importance de la teneur en oxygène au sein des matériaux contenant du bore. Lors des traitements thermiques la réaction avec l’alumine génère la formation des différentes phases de borate d’aluminium. Finalement, une approche visant à l’amélioration de la qualité de l’interface et de l’adhérence entre la couche d’alumine et le substrat de BN a été abordée.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises
Identifiant
2021LIMO0109
Numéro national
2021LIMO0109

Pour citer cette thèse

Trujillo Arredondo Mariana, Elaboration par un procédé PVD de multicouches céramiques sur des substrats en nitrure de bore : Etude du procédé et de la réactivité aux interfaces en vue d’améliorer l’adhérence des dépôts, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2021. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/2021LIMO0109