Etude de systèmes de refroidissement micro-fluidiques co-intégrés avec des dispositifs hyperfréquences

Discipline

Sciences et ingénierie pour l'information

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

Refroidissement, Micro-canaux, Transistor GaN

Mots-clés

Microfluidique,

Circuits intégrés,

Systèmes microélectromécaniques,

Nitrure de gallium

Ces travaux de thèse présentent des structures de micro-refroidissement. Le principe de fonctionnement des structures présentées repose sur une intégration du fluide réfrigérant au plus proche des sources de chaleurs afin de diminuer au maximum la résistance thermique et augmenter le coefficient de performance des structures fabriquées. Deux structures sont présentées dans ces travaux. La première pour un refroidissement global de l’ensemble du substrat à base de micro-canaux à manifold gravés dans le substrat. La seconde repose sur un refroidissement plus local dans le substrat de transistors GaN-sur-Si déjà fabriqués sur la face avant des échantillons.