Filtres micro-usinés à bande étroite pour les applications spatiales

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

satellites, micro-usinage, filtres et filtrage, télécommunications

Dans le premier chapitre, les éléments constitutifs d'une charge utile de satellite de télécommunications sont décrits, en s'attardant plus particulièrement sur les filtres et en proposant des technologies pour améliorer leurs performances. Dans le deuxième chapitre, une description détaillée du micro-usinage du silicium par voie humide est donnée. Cette technologie a été retenue pour réaliser des filtres planaires faible bande en réduisant les pertes d'insertion. Deux filtres sont alors présentés avec 1.2 et 2.9 % de bande relative. Le troisième chapitre est consacré aux aspects d'intégration des filtres micro-usinés. L'objectif est d'étudier et de réaliser des transitions verticales permettant un report simple en surface de tels filtres.