Utilisation de la voie chimique pour le dépôt de films minces de matériaux ferroélectriques de structure perovskite

Discipline

Matériaux Céramiques et Traitements de Surface

Classification

Technologie (Sciences appliquées),

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

oxydes, couches minces, sol-gel (procédé), matériaux ferroélectriques, revêtements de surface

Mots-clés

Dépôt par laser pulsé - Thèses et écrits académiques,

Sol-gel, Procédé - Thèses et écrits académiques,

Pérovskite - Thèses et écrits académiques,

Piézoélectricité - Thèses et écrits académiques

Les oxydes de structure perovskite Na₀,₅Bi₀,5TiO₃ (NBT) ou dérivés tels que les phases d'Aurivillius, MBi₄Ti₄O₁₅ (M=Ba ou Sr) sont des candidats à l'élaboration de mémoires ferroélectriques non-volatiles exemptes de plomb. Le dépôt de films minces de MBi₄Ti₄0₁₅ par décomposition d'organométalliques est étudié en fonction de la température de recuit, de la rampe de chauffe et de l'excès de bismuth introduit en excès dans le sol. Deux points sont mis en exergue: - un effet de texture (00l)//(400)Si qui se justifie par l'anisotropie de la maille et l'utilisation d'une rampe de chauffe rapide RTA, - un fort degré de texture est obtenu par l'ajout d'une couche de nucléation orientée à l'interface interne. Le procédé sol-gel appliqué à NBT a permis de cristalliser des films monophasés à basse température (T<500°C) au sein desquels une activité piézoélectrique a été mise en évidence par - microscopie à force atomique (piézo-réponse). Des modifications sur le procédé sont réalisées.