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Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://cdn.unilim.fr/files/theses-doctorat/2009LIMO4017.pdf
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Maury Fabien
Date de soutenance
10-07-2009

Directeur(s) de thèse
Blondy Pierre
Président du jury
MONEDIERE Thierry
Rapporteurs
TANNE Gérard - PLANA Robert
Membres du jury
CONSEIL François - MADRANGEAS Valérie - BLONDY Pierre - POTHIER Arnaud

Laboratoire
XLIM - UMR CNRS 7252
Ecole doctorale
École doctorale Sciences - Technologie - Santé - STS (Limoges ; ...-2009)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique
Classification
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
dispositifs microondes, commutation (électricité), électronique de puissance, déphaseurs, systèmes microélectromécaniques (MEMS)
Mots-clés
Systèmes microélectromécaniques - Thèses et écrits académiques,
Commutation (électricité) - Systèmes microélectromécaniques - Thèses et écrits académiques,
Déphaseurs - Thèses et écrits académiques
Résumé :

Les structures MEMS concernées par cette thèse sont des capacités commutées de type cantilever pouvant être utilisés pour une fonction de déphasage. L'un des enjeux de cette thèse est la tenue en puissance. En effet, soumis à des signaux de forte puissance, la bonne commutation des MEMS est entravée lorsque des phénomènes de défaillance tels que l'auto maintien et l'auto actionnement apparaissent. Ces phénomènes ont été pris en compte pour établir une méthode de conception basée sur une approche analytique, permettant de dimensionner de façon optimale des capacités commutées MEMS. Des structures ont ainsi été réalisées en salle blanche pour valider ces calculs. Les mesures des tensions de relâchement de ces structures ont permis de constater une bonne tenue en puissance. Des capacités commutées MEMS ont été implémentées le long d'une ligne de transmission de manière à constituer des cellules de déphasage. Les résultats prometteurs de ces dispositifs en terme de précision de phase et de tenue en puissance sont complétés par des mesures effectuées pour déterminer le temps de chargement du diélectrique avant défaillance. Un modèle couplant mécanique et micro-ondes a été utilisé pour prédire les erreurs de phase, qu'elles soient liées aux imperfections inhérentes à la fabrication ou qu'elles soient engendrées dans le cas extrême de poutres défaillantes. Ce modèle a aussi permis de calculer les intermodulations d'ordre 3 et laisse présager une excellente linéarité des composants.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
Ressource locale
Identifiant
unilim-ori-26211
Numéro national
2009LIMO4017

Pour citer cette thèse

Maury Fabien, Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2009. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/unilim-ori-26211