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Films minces et multicouches de matériaux piézoélectriques : synthèse par ablation laser ; caractérisation microstructurale et intégration dans des dispositifs SAW

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://cdn.unilim.fr/files/theses-doctorat/2012LIMO4006.pdf
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Dutheil Perrine
Date de soutenance
24-05-2012

Directeur(s) de thèse
Champeaux Corinne - Catherinot Alain
Président du jury
CROS Dominique
Rapporteurs
MILLON Eric - ROUGIER Aline
Membres du jury
CHAMPEAUX Corinne - CIBERT Christophe - CRUNTEANU Aurélian - ORLIANGES Jean-Christophe - WOLFMAN Jerôme - CATHERINOT Alain

Laboratoire
SPCTS - Science des Procédés céramiques et de Traitements de surface – UMR CNRS 7315
Ecole doctorale
École doctorale Sciences et Ingénierie des Matériaux, Mécanique, Énergétique et Aéronautique (Poitiers ; 2009-2017)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Matériaux Céramiques et Traitements de Surface
Classification
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
couches minces, piézoélectricité, dépôt par laser pulsé, onde acoustique de surface
Mots-clés
Couches minces - Thèses et écrits académiques,
Composites - Thèses et écrits académiques,
Matériaux piézoélectriques - Thèses et écrits académiques,
Ondes acoustiques de surface - Thèses et écrits académiques,
Ablation laser (fabrication) - Thèses et écrits académiques
Résumé :

La synthèse de films minces et de multicouches à base de matériaux piézoélectriques, AlN et ZnO, a été réalisée par PLD pour des intégrations dans des dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW). L'orientation (002) de couches minces d'AlN hexagonal a été obtenue sur des substrats d'Al₂O₃(C) et Si (111). Ces couches piézoélectriques ont des vitesses moyennes de propagation des ondes acoustiques respectives de 5230 m.s-1 et 4500 m.s-1. L'orientation (110) d'AlN obtenue sur Al₂O₃ (R), pour laquelle coïncide la direction de propagation de l'onde acoustique de surface avec l'axe piézoélectrique, permet d'atteindre des vitesses de propagation des ondes acoustiques supérieures d‘environ 6000 m.s-1. Les films minces de ZnO orientés (002) sur Al₂O₃(C) ont montré de bonnes propriétés piézoélectriques, offrant la possibilité de travailler avec des modes de propagation des ondes acoustiques supérieurs qui induisent des fréquences de fonctionnement plus élevées. Finalement, des bicouches à base de ZnO et AlN ont également été réalisées et intégrées dans des dispositifs SAW afin de combiner les avantages de ces deux matériaux.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
Ressource locale
Identifiant
unilim-ori-29729
Numéro national
2012LIMO4006

Pour citer cette thèse

Dutheil Perrine, Films minces et multicouches de matériaux piézoélectriques : synthèse par ablation laser ; caractérisation microstructurale et intégration dans des dispositifs SAW, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2012. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/unilim-ori-29729