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Développement d'architectures de filtres à base de résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution à l'intégration dans une technologie avancée silicium industrielle pour des applications radio-fréquences

(Document en Français)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://cdn.unilim.fr/files/theses-doctorat/2007LIMO4012.pdf
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Tilhac Cyrille
Date de soutenance
02-07-2007

Directeur(s) de thèse
Cathelin Andreia - Madrangeas Valérie
Président du jury
KAISER Andreas
Rapporteurs
KERHERVE Eric - LLOPIS Olivier
Membres du jury
BILA Stéphane - CROS Dominique - PERSON Christian - CATHELIN Andreia - MADRANGEAS Valérie

Laboratoire
XLIM - UMR CNRS 7252
Ecole doctorale
École doctorale Sciences - Technologie - Santé - STS (Limoges ; ...-2009)
Etablissement de soutenance
Limoges

Informations générales

Discipline
Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique
Classification
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
filtres et filtrage, dispositifs MOS, piézoélectricité, inductance, ondes sonores, résonance et résonateurs
Mots-clés
MOS complémentaires - Thèses et écrits académiques,
Cavités résonnantes (acoustique) - Thèses et écrits académiques,
Inductance - Thèses et écrits académiques,
Silicium - Thèses et écrits académiques
Résumé :

Pour des raisons de coût, de consommation et de volume, l'intégration complète des systèmes de communication apparaît comme un sujet porteur pour l'industrie de la microélectronique. C'est pourquoi, de nouveaux résonateurs à ondes acoustiques de volume (BAW) se développent. Un des avantages de ces résonateurs est la possibilité de les intégrer dans un système complet sur substrat silicium pour des applications de type filtrage. En revanche, il existe des variations dans le procédé de fabrication qui font que les épaisseurs des matériaux déposés fluctuent légèrement. Cela impacte directement la fréquence de résonance des résonateurs et il convient de palier à ces variations si on souhaite réaliser un système intégré. Le sujet de travail de cette thèse s'inscrit dans le cadre de cette réflexion et porte sur l'étude et la réalisation de nouvelles architectures de filtres permettant l'utilisation de résonateurs BAW accordables en fréquence.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
Ressource locale
Identifiant
unilim-ori-53647
Numéro national
2007LIMO4012

Pour citer cette thèse

Tilhac Cyrille, Développement d'architectures de filtres à base de résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution à l'intégration dans une technologie avancée silicium industrielle pour des applications radio-fréquences, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2007. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/unilim-ori-53647