Développement d’une solution « single chip » à base de MEMS RF pour la réalisation d’un tuner pour le test de circuits microondes

Discipline

Electronique, microelectronique, optique et lasers, optoelectronique microondes robotique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

MEMS RF, Caractérisation d’antennes, Reflectarray

Mots-clés

Tuners,

Systèmes microélectromécaniques,

Antennes (électronique),

Rétrodiffusion,

Radiofréquences - Mesure

Les travaux réalisés lors de cette thèse ont eu pour objectif la fabrication d’un tuner RF pour la mesure d’antenne en rétrodiffusion. Le tuner est monolithique, intégrant des MEMS RF et des charges en couches minces. Dans cette optique, un nouveau MEMS RF à contact ohmique a été fabriqué devant permettre une encapsulation au niveau zéro par couches minces. Les MEMS RF montrent de très bonnes performances jusqu’à 67GHz. L’utilisation de MEMS RF a permis l’obtention d’un tuner avec un fort contraste entre les charges jusqu’à 20GHz. Les MEMS conçus dans ce travail ont également été intégrés dans le design d’une cellule unitaire d’un reflectarray reconfigurable fonctionnant à 28GHz.