Couches minces ferroélectriques appliquées aux dispositifs microondes accordables en fréquence

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

dispositifs microondes, microondes, couches minces, matériaux ferroélectriques, dépôt sous vide, dépôt par laser pulsé

Mots-clés

Surfaces (technologie) -- Analyse - Thèses et écrits académiques,

Dépôt par laser pulsé - Thèses et écrits académiques,

StrontiumStrontium -- Composés,

Titanate de baryum - Thèses et écrits académiques,

Cristaux ferroélectriquesCristaux ferroélectriques -- Thèses et écrits académiques,

Ablation laser (fabrication) - Thèses et écrits académiques,

épitaxie - Thèses et écrits académiques

Les films ferroélectriques sont de plus en plus utilisés dans le cadre d'applications microondes telles que les dispositifs accordables en fréquence par exemple. Les travaux présentés dans ce mémoire traitent de la réalisation par ablation laser de films de titanate de baryum et de strontium et de leurs caractérisations (structurales et hyperfréquences notamment). Les paramètres de dépôts ont été optimisés de façon à obtenir des films texturés (h00) sur des substrats de MgO. Par la suite, une étude approfondie par diffraction des rayons X a permis d'établir les relations d'épitaxie entre la couche et le substrat et de déterminer les paramètres microstructuraux des films. Des caractérisations en cavité microonde ont été réalisées dans le but de déterminer les propriétés diélectriques des films (permittivités diélectriques relatives et tangentes de pertes diélectriques), et d'envisager leur intégration dans plusieurs dispositifs.