Couches minces d'oxydes élaborées par voie sol-gel, épitaxiées et nanostructurées par traitements thermiques post-dépôt

Discipline

Matériaux Céramiques et Traitements de Surface

Classification

Technologie (Sciences appliquées),

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

oxydes, couches minces, sol-gel (procédé), rayons X (diffraction), épitaxie, traitements thermiques

Mots-clés

Dépôt par laser pulséZircone -- Couches minces,

Sol-gel, Procédé - Thèses et écrits académiques,

épitaxie - Thèses et écrits académiques,

Matériaux nanostructurésMatériaux nanostructurés -- Thèses et écrits académiques,

Microscopie à force atomique - Thèses et écrits académiques,

Rayons XRayons X -- Diffraction

Ce travail concerne l'élaboration par voie sol-gel de couches minces d'oxydes épitaxiées par traitements thermiques post-dépôt. Ces traitements thermiques induisent la formation de nanostructures constituées d'îlots nanométriques. Différentes nanostructures ont été réalisées sur différentes surfaces monocristallines préparées spécifiquement. Nous avons obtenu des îlots plats sur des substrats lisses, des îlots en forme de dôme sur des surfaces rugueuses et des îlots plats inclinés sur des surfaces vicinales. Nous avons montré que, lorsque le diamètre des îlots est inférieur à la largeur moyenne des terrasses d'une surface vicinale nanostructurée, il est possible d'élaborer des rangées auto-organisées de nano-îlots. Ces couches nanostructurées ont été étudiées par microscopie à force atomique et par diffraction de rayons X à haute résolution en utilisant la cartographie du réseau réciproque.