Analyse et simulation de résonateurs piézoélectriques pour des applications de filtrage

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

filtres et filtrage, modèles et modélisation, couches minces, piézoélectricité, dispositifs piézoélectriques, résonance et résonateurs

Mots-clés

Industries de pointeTechnologie de pointe -- Thèses et écrits académiques,

Cavités résonnantes (acoustique) - Thèses et écrits académiques,

Matériaux piézoélectriques - Thèses et écrits académiques

En utilisant la méthode des moindres carrés et à partir d'une analyse unidimensionnelle, nous avons développé une méthode permettant de synthétiser tous les types de résonateurs piézoélectriques. Notre méthode est très rapide et permet d'optimiser les épaisseurs de chaque couche et la surface des résonateurs du filtre très facilement à partir de la fréquence centrale et de la bande passante. De plus notre méthode peut s'appliquer à tous les types de résonateurs et de filtres piézoélectriques. Nous avons réalisé des circuits à XLIM. Nous présentons les technologies de dépôts de films minces et les procédures de gravure de ces couches. Des résonateurs suspendus sont été fabriqués dans notre laboratoire. Une bonne adaptation des fréquences de résonance entre la simulation et la mesure.