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Développement d’une solution « single chip » à base de MEMS RF pour la réalisation d’un tuner pour le test de circuits microondes

Développement d’une solution « single chip » à base de MEMS RF pour la réalisation d’un tuner pour le test de circuits microondes Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2022
auteur : Jouin Edouard
laboratoire : XLIM
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Les travaux réalisés lors de cette thèse ont eu pour objectif la fabrication d’un tuner RF pour la mesure d’antenne en rétrodiffusion. Le tuner est monolithique, intégrant des MEMS RF et des charges en couches minces. Dans cette optique, un nouveau MEMS RF à contact ohmique a été fabriqué devant per ...