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Etude du packaging des MEMS-RF

Etude du packaging des MEMS-RF
année de soutenance : 2016
auteur : Roubeau Fabien
laboratoire : XLIM
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Ces travaux de recherche portent sur la conception et la réalisation de micro commutateurs MEMS-RF capacitifs packagés en couche mince. Le principe de fonctionnement de ces composants repose sur un changement de valeur de la capacité du composant, lors de son activation par une tension continue qui ...
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