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Conception, modélisation, fabrication et caractérisation de composants MEMS RF

Conception, modélisation, fabrication et caractérisation de composants MEMS RF Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2003
auteur : Mercier Denis
laboratoire : Institut de Recherche en Communications Optiques et Microondes
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Le travail présenté dans ce mémoire concerne les Systèmes Micro-ElectroMécaniques (MEMS) pour les applications RF. Les aspects conception, fabrication, caractérisation et modélisation sont traités et illustrés d'exemples expérimentaux. Dans une première partie nous nous sommes intéressés à la modél ...
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