Par auteur

Vous êtes ici

  2. Thèses de doctorat
  3. Par auteur
  4. N
  5. Noguès-Delbos Elise

Recherche en cours

Par auteur = Noguès-Delbos Elise
1 ressource a été trouvée.
Trier par : Titre année de soutenance auteur
Affichage de
résultats par page
  • 1
  • 1
Attention : l'accès aux ressources peut être restreint, soit pour des raisons juridiques, soit par la volonté de l'auteur.

Densification de dépôts de zircone yttriée projetés par plasma d'arc Ar-H₂ et N₂-H₂ pour leur utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs

Densification de dépôts de zircone yttriée projetés par plasma d'arc Ar-H₂ et N₂-H₂ pour leur utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2007
auteur : Noguès-Delbos Elise
laboratoire : Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème : Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description : Dans l'industrie des semi-conducteurs, les puces électroniques, au cours de leur processus de fabrication, peuvent être revêtues d'un dépôt CVD et/ou PVD, réalisé dans des enceintes en quartz (bell jar). Après utilisation, ces dernières, recouvertes d'un dépôt « polluant », sont nettoyées dans une s ...
  • http://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/f9f2a754-9ac0-4af7-ba80-4c3d38c21d1b/blobholder:0/2007LIMO4047.pdf
  • 1