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Par auteur = Orlianges Jean-Christophe
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Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé : propriétés des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF

Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé : propriétés des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2003
auteur : Orlianges Jean-Christophe
laboratoire : Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème : Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description : Ce travail consiste en l'optimisation des conditions de dépôt par ablation laser à température ambiante du carbone et de l'alumine. Il se divise en huit parties principales. Le premier chapitre est une présentation du contexte de l'émergence des couches de carbone et d'alumine par ablation laser. ...
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