Par directeur de thèse

Vous êtes ici

  2. Thèses de doctorat
  3. Par directeur de thèse
  4. B
  5. Bologna Alles Aldo

Recherche en cours

Par directeur de thèse = Bologna Alles Aldo
1 ressource a été trouvée.
Trier par : année de soutenance Titre auteur
Affichage de
résultats par page
  • 1
  • 1
Attention : l'accès aux ressources peut être restreint, soit pour des raisons juridiques, soit par la volonté de l'auteur.

Piezoelectric aluminum nitride thin films by PECVD

Piezoelectric aluminum nitride thin films by PECVD Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2009
auteur : Sanchez Mathon Gustavo
laboratoire : Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème : Technologie (Sciences appliquées), Sciences de l'ingénieur
Description : Des couches minces polycristallines de nitrure d'aluminium ont été produites en utilisant une technique de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. La distance plasma - injecteur, la température du substrat et la polarisation RF du porte - substrat ont été les principales variab ...
  • http://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/9224e391-3c48-4c10-9166-c2a2bed3c5f4/blobholder:0/2009LIMO4007.pdf
  • 1