Elaboration et corrélation structure/ propriétés optiques et électriques de matériaux oxydes à transition de phase (VO2, VO2 dopé avec W et NbO2)

Discipline

Sciences et ingénierie pour l’information

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

Oxydes, Dioxide de vanadium, Dioxide de niobium, Pulvérisation réactive, Transition métal-Isolant

Mots-clés

Métaux de transition,

Couches minces,

Magnétrons,

Pulvérisation cathodique

Cette thèse vise la réalisation et la caractérisation structurale, optique et électrique de couches minces de matériaux oxydes ayant des propriétés de transition isolant-métal (MIT), plus particulièrement des oxydes de vanadium (VO2 et VO2 dopé avec W) et du dioxyde de niobium (NbO2). Le dépôt de ces couches minces a été effectué par pulvérisation magnétron réactive dans une atmosphère Ar/ O2. Le processus d'optimisation des films minces a permis d'obtenir des informations précieuses sur les effets du processus de fabrication sur les caractéristiques structurelles, optiques et électriques. En outre, les films ont été intégrés dans divers dispositifs tels que des modulateurs THz activés thermiquement/électriquement, des métacanvases reconfigurables optiquement et des dispositifs oscillants. Les informations fournies dans ce manuscrit sont d'un grand intérêt pour l'intégration de films de VO2 et de VO2 dopé avec W dans des dispositifs pouvant fonctionner dans différents domaines. Ce travail permet également d'approfondir notre compréhension des films de NbO2, un domaine relativement moins étudié mais particulièrement intéressant pour les applications nécessitant une plus grande stabilité à la température.