Contribution à la réalisation de microrésonateurs sur fibre optique de silice par faisceau d'électrons piloté en vue d'une application au multiplexage en longueur d'onde

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

guides d'ondes, faisceaux d'électrons, fibres optiques, communications optiques, silice

Mots-clés

Silice - Thèses et écrits académiques,

Faisceaux électroniques - Thèses et écrits académiques,

Fibres optiques - Thèses et écrits académiques,

Filtres pour microondes,

Cavités résonnantes (microondes)

La silice, soumise à un faisceau d'électrons d'énergie de l'ordre de quelques dizaines de keV, subit des modifications topographiques et indicielles permettant d'envisager la réalisation de micro composants optiques, sans avoir recours à des étapes de masquage ou d'attaque chimique. L'outil d'irradiation utilisé est un microscope électronique à balayage associé à des logiciels de pilotage du faisceau. Dans le but, à terme, de réaliser un filtre optique à bande-passante très étroite constitué d'une cavité résonnante inscrite directement par faisceau d'électrons sur la gaine polie d'une fibre optique monomode en silice, nous consacrons ce mémoire à la caractérisation métrologique et optique des ces variations. Des trous, des disques, des " lignes " et des surfaces ont été élaborés à l'aide d'un faisceau focalisé ou défocalisé. Cette étude expérimentale a permis d'apporter plusieurs éléments de réponse concernant les phénomènes mis en jeu lors des interactions électrons-silice. La caractérisation par les méthodes de Brewster et des m-lines de surfaces de quelques mm2 a montré la faisabilité de guides et de microguides. La méthode WKBI a conduit à la reconstruction du profil d'indice. L'ensemble de ces caractérisations a conduit à une première ébauche du composant final.