Conception, réalisation et tests de filtres millimétriques volumiques micro-usinés

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

simulations, micro-usinage, communications sans fil, filtres et filtrage, électromagnétisme, éléments finis (méthode)

Mots-clés

éléments finis, Méthode des - Thèses et écrits académiques,

Micro-usinageMicro-usinage -- Thèses et écrits académiques

Les filtres volumiques présentent une très bonne sélectivité. En revanche, leur intégration au reste du circuit est problématique. L'utilisation du micro-usinage du silicium permet d'imaginer des structures volumiques plus facilement intégrables. Le principe de filtrage décrit dans ce manuscrit appartient à cette catégorie et présente les particularités suivantes : une fréquence de travail élevée (60 GHz), un système d'excitation original et la possibilité de réaliser une fonction elliptique pour améliorer la sélectivité. La conception est rendue possible grâce à l'utilisation d'un logiciel de simulation électromagnétique développé par l'IRCOM et basé sur la méthode des éléments finis. Les réalisations ont été effectuées dans les salles blanches de THALES. Un facteur de qualité à vide supérieur à 1000 est obtenu expérimentalement. Les mesures de filtres multi-pôles permettent de valider les systèmes de couplage et confirment la possibilité d'obtenir une réponse elliptique.