Réalisation de diodes électroluminescents souples et caractérisations

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

couches minces, matériaux organiques, bombardement ionique, diélectriques, diodes, dépôt sous vide

Mots-clés

Couches minces métalliques - Thèses et écrits académiques,

Indium - Thèses et écrits académiques,

étain - Thèses et écrits académiques,

Polyéthylène térephtalate - Thèses et écrits académiques,

Diodes électroluminescentes organiques - Thèses et écrits académiques

Des couches minces d'oxyde d'indium et d'étain (ITO) ont été obtenues par un procédé de dépôt IBS (Ion Beam Sputtering). Cette technique nous a permis d'élaborer des films d'ITO sur des substrats souples en polyéthylène téréphtalate (PET), dans des conditions douces de basses températures et répondant aux exigences des procédés de fabrication des composants optoélectroniques organiques. Dans le cas d'un dépôt d'ITO non thermiquement activé (20°C) et assisté par -un flux d'oxygène (1 cm³/min), nous avons obtenu une transmission optique de l'ordre de 90% dans le visible, une résistivité de 10⁻³Ωcm, et une rugosité de surface inférieure à 1,5nm. Ainsi nous avons pu réaliser des diodes électroluminescentes organiques flexibles (FOLEDs) présentant de bonnes performances: une luminance crête de 12000 cd/m² à une tension de 19V et un rendement lumineux maximum de l'ordre de 1 lm/W à une tension de 10V (ou un rendement en courant maximum de 4 cd/A à 14V) pour la structure PET(50µm)/ ITO(200nm)/TPD(40nm)/ Alq3(60nm)/Ca/Al.