Conception de capacités commutées MEMS RF miniatures et application à la reconfiguration rapide de déphaseurs

Discipline

Électronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique

Classification

Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres

commutation (électricité), déphaseurs, systèmes microélectromécaniques (MEMS)

Mots-clés

Systèmes microélectromécaniques - Thèses et écrits académiques,

Déphaseurs - Composants électroniques - Thèses et écrits académiques,

Composants électroniques - électrons - Thèses et écrits académiques

Ce travail présente la conception de capacités commutées MEMS RF miniatures rapides et leur application à des déphaseurs à base de lignes distribuées. Le but est d'accroître la vitesse de commutation d'une structure mécanique dont les temps de commutation sont aujourd'hui rarement inférieurs à la microseconde. Pour cela, une géométrie originale est étudiée et les dimensions géométriques de la poutre micromécanique sont optimisées. Des mesures mécaniques et hyperfréquences ont également été réalisées afin de valider les résultats théoriques et de caractériser les composants ainsi fabriqués. Ces capacités commutées MEMS RF miniatures ont ensuite été implémentées sur une ligne distribuée afin de réaliser des opérations de déphasage rapide à base de systèmes micromécaniques. Les mesures de temps de commutation ainsi que les coefficients de réflexion et les pertes d'insertion du dispositif sont également présentées.