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Couches minces piézoélectriques de nitrure d'aluminium par PECVD

(Document en Anglais)

Accès au(x) document(s)

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
  • Accéder au(x) document(s) :
    • https://cdn.unilim.fr/files/theses-doctorat/2009LIMO4007.pdf
    Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Informations sur les contributeurs

Auteur
Sanchez Mathon Gustavo
Date de soutenance
12-02-2009

Directeur(s) de thèse
Tristant Pascal - Tixier Christelle - Bologna Alles Aldo
Président du jury
LABBE Jean-Claude
Rapporteurs
CASTRO Miriam - DJOUADI Abdou
Membres du jury
PIEDRA-CUEVA Ismael - DALCHIELE Enrique - DUBLANCHE-TIXIER Christelle - TRISTANT Pascal - BOLOGNA ALLES Aldo

Laboratoire
SPCTS - Science des Procédés céramiques et de Traitements de surface – UMR CNRS 7315
Ecole doctorale
École doctorale Sciences - Technologie - Santé - STS (Limoges ; ...-2009)
Etablissement de soutenance
Limoges,
Universidad de la República (Montevideo)

Informations générales

Discipline
Matériaux Céramiques et Traitements de Surface
Classification
Technologie (Sciences appliquées),
Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres
matériaux réfractaires, couches minces, semiconducteurs, piézoélectricité, dépôt sous vide, microstructures
Mots-clés
Nitrure d'aluminium - Couches minces - Thèses et écrits académiques,
Matériaux piézoélectriques - Thèses et écrits académiques,
Dépôt chimique en phase vapeur - Thèses et écrits académiques
Résumé :

Des couches minces polycristallines de nitrure d'aluminium ont été produites en utilisant une technique de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. La distance plasma - injecteur, la température du substrat et la polarisation RF du porte - substrat ont été les principales variables pour arriver à ce but. Dans un même temps, il a été possible de contrôler l'orientation préférentielle comme <0001> ou <1010>, intéressantes pour des applications piézoélectriques. Les mécanismes de croissance qui ont conduit au développement des microstructures dans les différentes conditions ont été expliqués, la comparaison avec une technique de dépôt physique en phase vapeur par pulvérisation cathodique a permis d'enricher la discussion. Les performances piézoélectriques des couches obtenues ont été caractérisées par construction des dispositifs électroacoustiques d'onde de surface et d'onde de volume. Les couches orientées <0001> ont montré une réponse piézoélectrique et une vitesse acoustique adéquates. Par contre, les couches orientées <1010> n'ont pas montré de réponse piézoélectrique dans les configurations testées. Une analyse exhaustive a été conduite pour expliquer les possibles raisons de ces comportements.

Informations techniques

Type de contenu
Text
Format
PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine
Ressource locale
Identifiant
unilim-ori-26111
Numéro national
2009LIMO4007

Pour citer cette thèse

Sanchez Mathon Gustavo, Couches minces piézoélectriques de nitrure d'aluminium par PECVD, thèse de doctorat, Limoges, Université de Limoges, 2009. Disponible sur https://aurore.unilim.fr/ori-oai-search/notice/view/unilim-ori-26111