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Simulation par la méthode de Monte Carlo des phénomènes physiques intervenant dans l'élaboration de films réalisés par co-évaporation par faisceaux d'électrons

Simulation par la méthode de Monte Carlo des phénomènes physiques intervenant dans l'élaboration de films réalisés par co-évaporation par faisceaux d'électrons Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2005
auteur : Aubreton Pierre
laboratoire : Institut de Recherche en Communications Optiques et Microondes
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Ce travail porte sur la réalisation d'un modèle permettant d'obtenir les profils en épaisseur et en composition de dépôts métalliques (alliage aluminium, cuivre et titane) réalisés par co-évaporation par faisceaux d'électrons. Le modèle présenté dans cette étude permet le calcul de la vitesse des p ...
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