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Conception et réalisation de micro-résonateurs piezoélectriques sur substrat de silicium sur isolant

Conception et réalisation de micro-résonateurs piezoélectriques sur substrat de silicium sur isolant Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2016
auteur : Mortada Oussama
laboratoire : XLIM
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Les ondes acoustiques, démontrées théoriquement en 1885 par le scientifique anglais Lord Rayleigh, constituent de nos jours un sujet de recherches très intéressant. Elles sont devenues indispensables à la fabrication des systèmes de télécommunication miniatures et performants, tels que par exemple l ...
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