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Films minces et multicouches de matériaux piézoélectriques : synthèse par ablation laser ; caractérisation microstructurale et intégration dans des dispositifs SAW

Films minces et multicouches de matériaux piézoélectriques : synthèse par ablation laser ; caractérisation microstructurale et intégration dans des dispositifs SAW Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2012
auteur : Dutheil Perrine
laboratoire : Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : La synthèse de films minces et de multicouches à base de matériaux piézoélectriques, AlN et ZnO, a été réalisée par PLD pour des intégrations dans des dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW). L'orientation (002) de couches minces d'AlN hexagonal a été obtenue sur des substrats d'Al₂O₃(C) et ...
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