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Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS

Conception, réalisation et test de déphaseurs micro-ondes intégrant une technologie MEMS Droits d'accès : non autorisé
année de soutenance : 2009
auteur : Maury Fabien
laboratoire : XLIM
thème : Sciences de l'ingénieur
Description : Les structures MEMS concernées par cette thèse sont des capacités commutées de type cantilever pouvant être utilisés pour une fonction de déphasage. L'un des enjeux de cette thèse est la tenue en puissance. En effet, soumis à des signaux de forte puissance, la bonne commutation des MEMS est entravée ...
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